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RIX半導體/晶圓真空夾緊用旋轉接頭

如果您對該產品感興趣的話,可以
產品名稱: RIX半導體/晶圓真空夾緊用旋轉接頭
產品型號: EMS系列
產品廠商: 巖瀨商事
產品文檔: 無相關文檔

簡單介紹

RIX半導體/晶圓真空夾緊用旋轉接頭 EMS系列，是專為半導體行業開發的，用于供應純水和化學溶液。主回路采用非金屬材料，使其成為*大限度減少金屬離子溶入液體的旋轉接頭。


RIX半導體/晶圓真空夾緊用旋轉接頭  的詳細介紹

RIX半導體/晶圓真空夾緊用旋轉接頭 EMS系列

規格：

適用流體：純水、空氣 、真空
*大壓力 ：-0.095～0.6MPa
*大通路：5
*大轉速：800min-1
主要途徑與其特點：

在旋轉托盤的冷卻水IN/OUT用，晶圓真空夾緊用
空氣/真空流路可能追加

應用端設備對象：精磨/粗磨、CMP裝置



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